无油真空泵的工作介质为催化尾气经装置提取浓缩后的产品气，其主要成分为乙烯、乙烷，此介质为重要的化工原料。因为气体纯度不高，且含有腐蚀性介质，造成无油螺杆真空泵振动异常、故障频发。
真空泵的故障处理
真空泵启动困难
电源有故障 检查是否断电，或者电源缺相
异物入泵,叶轮卡死 用水冲洗，或者开泵检查
填料压得过紧 松开调料压盖螺栓，启动泵后，慢慢拧紧压盖螺栓，至有点水外流为止
水垢或者铁锈 用10%草酸浸泡30-—60分钟
工作液过多 调整工作液，高度至泵的轴心线
电机跳闸或者过载
绕组短路 检查电机绕组
工作液量过大 调节工作液入口阀门，降低工作液流量
排气压力过高 降低排气压力至规定范围
吸入气体中液体含量过多 在入中处加装分离器，或者降低工作液量
没有真空
电机转向错误 更换两根导线
无工作液进入泵内 检查工作液
系统严重漏气 打压检漏，并修复
进气阀门没开 打开进气阀
真空度低
工作液流量小 增加工作液流量，同时观察电机电流不能过载
工作液温度过高 降低工作液温度
系统轻度泄露 更换密封(若填料密封，紧固压盖螺栓)
真空表不准 更换真空表
排气阀脱落 更换排气阀
泵的选型小 更换大的泵
当地大气压低 考核绝对压力
叶轮腐蚀或汽蚀 更换叶轮
振动/噪音大
气蚀严重 加气蚀保护装置
工作液量过大 降低流量，方法，加装孔板或者流量计
连轴器对中不好 重新校连轴器的同心度，使其符合国家标准或者行业标准。
底脚螺栓没固定好 紧固死底脚螺栓
叶轮不平衡 重新对叶轮作平衡
小型真空泵指的就是微型真空泵，因为体积小通常把微型真空泵叫做小型真空泵。
微型真空泵（即小型真空泵)是指：具备一进一出的抽气嘴、排气嘴各一个，并且在进口处能够持续形成真空或负压；排气嘴处形成微正压；工作介质主要为气体，体积小巧的一种仪器。
真空泵是在电磁力的作用下对被抽容器进行抽气从而维持真空的装置。真空泵平常广泛的应用于低温设备、造纸机械真空设备石油、矿山、地基处理等领域。不同的真空泵工作原理和用途也不尽相同。今天就给大家分享几种常见真空泵的工作原理。
一、水环真空泵
由泵内的带固定叶片的偏心转子，将水抛向定子壁，水形成与定子同心的液环，液环与转子叶片一起构成可变容积的一种旋转变容积真空泵。旋片又分单级和双级，原理是利用偏心转子在泵腔内形成通过旋转产生体积的变化而将气体排出泵外，主要是在吸气过程中，吸气腔体积增大，真空度降低，将容器内气体吸入泵腔，在排气过程中体积变小，压强增大，最终通过油封将吸入的气体排出泵外。
二、罗茨真空泵
罗茨泵在泵腔内，有二个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上，由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间，转子与泵壳内壁之间，保持有一定的间隙，可以实现高转速运行。由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵，通常压缩比很低，故高、中真空泵需要前级泵。罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外，还取决于前级泵的极限真空。
为了提高泵的极限真空度，可将罗茨泵串联使用。罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转，被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内，再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态，所以，在泵腔内气体没有压缩和膨胀。但当转子顶部转过排气口边缘，v0空间与排气侧相通时，由于排气侧气体压强较高，则有一部分气体返冲到空间v0中去，使气体压强突然增高。当转子继续转动时，气体排出泵外。
三、旋片真空泵
旋片式真空泵(简称旋片泵)是一种油封式机械真空泵。其工作压强范围为101325~1.33×10-2(Pa)属于低真空泵。它可以单独使用，也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵。旋片泵可以抽除密封容器中的干燥气体，若附有气镇装置，还可以抽除一定量的可凝性气体。但它不适于抽除含氧过高的，对金属有腐蚀性的、对泵油会起化学反应以及含有颗粒尘埃的气体。旋片泵是真空技术中基本的真空获得设备之一。旋片泵多为中小型泵。
旋片泵有单级和双级两种。所谓双级，就是在结构上将两个单级泵串联起来。一般多做成双级的，以获得较高的真空度。旋片泵的抽速与入口压强的关系规定如下：在入口压强为1333Pa、1.33Pa和1.33×10-1(Pa)下，其抽速值分别不得低于泵的名义抽速的95%、50%和20%。旋片泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。在旋片泵的腔内偏心地安装一个转子，转子外圆与泵腔内表面相切(二者有很小的间隙)，转子槽内装有带弹簧的二个旋片。旋转时，靠离心力和弹簧的张力使旋片顶端与泵腔的内壁保持接触，转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动。
两个旋片把转子、泵腔和两个端盖所围成的月牙形空间分隔成A、B、C三部分，当转子按箭头方向旋转时，与吸气口相通的空间A的容积是逐渐增大的，正处于吸气过程。而与排气口相通的空间C的容积是逐渐缩小的，正处于排气过程。居中的空间B的容积也是逐渐减小的，正处于压缩过程。由于空间A的容积是逐渐增大(即膨胀)，气体压强降低，泵的入口处外部气体压强大于空间A内的压强，因此将气体吸入。当空间A与吸气口隔绝时，即转至空间B的位置，气体开始被压缩，容积逐渐缩小，最后与排气口相通。当被压缩气体超过排气压强时，排气阀被压缩气体推开，气体穿过油箱内的油层排至大气中。由泵的连续运转，达到连续抽气的目的。如果排出的气体通过气道而转入另一级(低真空级)，由低真空级抽走，再经低真空级压缩后排至大气中，即组成了双级泵。这时总的压缩比由两级来负担，因而提高了极限真空度。
循环水式多用真空泵SHZ-CB是以循环水为工作流体，采用射流技术产生负压而设计的一种新型真空抽气泵，它不仅是一种真空抽气装置，同时还能向反应装置中提供循环冷却水，该泵具有不用油、无污染、耐腐蚀、噪音低、方便灵活等特点。材料采用防腐机芯；立体电机，泵体直接潜入水下，不需加引水，一机多用。
循环水真空泵九优点：
1.循环用水，节约宝贵的水资源。
2.比其它类型真空泵节电35%以上。
3.特制的流体消声器，减少水中气体。
4.双抽头、双表显，可单独或并联使用。
5.耐酸、碱、溶剂腐蚀。
6.专用电机由知名电机制造商生产，氟橡胶密封，电机内部无腐蚀性气体侵入。
7.需定期更换水槽中的水，以保证水质纯净，保证真空度，避免垢渍。
8.可用于抽取腐蚀性气体，需缩短换水周期。
9.泵体为PP材质，射流器、抽气咀为不锈钢材质，更适用于酸性气体。
循环水真空泵使用方法：打开水箱上盖，注入清洁凉水，水位高度以略低于溢水嘴为限。接通电源插头，打开启动开关，泵开始工作。用手指堵住抽嘴，对应的真空表能达到接近-0.1Mpa真空度表示泵工作正常。
循环水式多用真空泵正确维护：
1、经常检查油位位置，不符合规定时须调整使之符合要求。以真空泵运转时，油位到油标中心为准。
2、经常检查油质情况，发现油变质应及时更换新油，确保真空泵工作正常。
3、换油期限按实际使用条件和能否满足性能要求等情况考虑，由用户酌情决定。一般新真空泵，抽除清洁干燥的气体时，建议在工作100小时左右换油一次。待油中看不到黑色金属粉末后，以后可适当延长换油期限。
4、一般情况下，真空泵工作2000小时后应进行检修，检查橡胶密封件老化程度，检查排气阀片是否开裂，清理沉淀在阀片及排气阀座上的污物。清洗整个真空泵腔内的零件，如转子、旋片、弹簧等。一般用汽油清洗，并烘干。对橡胶件类清洗后用干布擦干即可。清洗装配时应轻拿轻放小心碰伤。
5、有条件的对管中同样进行清理，确保管路畅通。
6、重新装配后应进行试运行，一般须空运转2小时并换油二次，因清洗时在真空泵中会留有一定量易挥发物，待运转正常后，再投入正常工作。
7、检查真空泵管路及结合处有无松动现象。用手转动真空泵，试看真空泵是否灵活。
8、向轴承体内加入轴承润滑机油，观察油位应在油标的中心线处，润滑油应及时更换或补充。
9、拧下真空泵泵体的引水螺塞，灌注引水（或引浆）。
10、关好出水管路的闸阀和出口压力表及进口真空表。
11、点动电机，试看电机转向是否正确。
12、开动电机，当真空泵正常运转后，打开出口压力表和进口真空泵，视其显示出适当压力后，逐渐打开闸阀，同时检查电机负荷情况。
13、尽量控制循环水真空泵的流量和扬程在标牌上注明的范围内，以保证真空泵在合适效率点运转，才能获得节能效果。
14、真空泵在运行过程中，轴承温度不能超过环境温度35C，温度不得超过80C 。
15、如发现真空泵有异常声音应立即停车检查原因。
16、真空泵要停止使用时，先关闭闸阀、压力表，然后停止电机。
17、真空泵在工作第一个月内，经100小时更换润滑油，以后每个500小时，换油一次。
18、经常调整填料压盖，保证填料室内的滴漏情况正常（以成滴漏出为宜）。
19、定期检查轴套的磨损情况，磨损较大后应及时更换。
20、真空泵在寒冬季节使用时，停车后，需将泵体下部放水螺塞拧开将介质放净。防止冻裂。
21、真空泵长期停用，需将泵全部拆开，擦干水分，将转动部位及结合处涂以油脂装好，妥善保管。
循环水真空泵的抽真空原理与射流式抽气器不同，它仍属于离心式机械泵。在圆筒形泵壳内偏心安装着叶轮转子，其叶片为前弯式。当叶轮旋转时，工作水在离心力作用下形成沿泵壳旋流的水环。由于叶轮偏心位置，水环相对叶片作相对运行，使相邻两叶片之间的空间容积呈周期性变化。有如液体“活塞”在叶栅中作径向往复运行。
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